所謂的凈化項目是控制產(chǎn)品（如硅片）接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度，使產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。無塵室裝配式潔凈廠房的全部維修構(gòu)件在工廠內(nèi)按統(tǒng)一模數(shù)及系列加工完成，適于批量生產(chǎn)，質(zhì)量穩(wěn)定，供貨迅速。無塵車間叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。潔凈車間機(jī)動靈活，即適合在新建廠房配套安裝，也適宜老廠房的凈化技術(shù)改造。維修結(jié)構(gòu)也可隨工藝要求任意組合，拆卸方便。該空間的設(shè)計和施工過程可稱為凈化工程。凈化工作可分為湍流和層流。

1、亂流式

空氣通過潔凈室的風(fēng)管和空氣過濾器（HEPA）通過空調(diào)箱進(jìn)入潔凈室，并通過潔凈室兩側(cè)的隔板或高架地板返回。由于氣流的非線性運(yùn)動，使其處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。這種類型適用于1000-100000級潔凈室。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，潔凈室易于擴(kuò)建，無塵工作臺可用于某些特殊使用場所，提高潔凈室等級。缺點(diǎn)：湍流產(chǎn)生的粉塵顆粒漂浮在室內(nèi)空間，不易排放，易污染工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止運(yùn)行并重新啟動，則需要很長時間才能達(dá)到所需的清潔度。

2、層流式

層流氣流進(jìn)入一條均勻的直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進(jìn)入房間，空氣由高架地板或兩側(cè)隔板返回。這種類型適合在較高的環(huán)境中使用潔凈室等級。一般情況下，潔凈室等級為1~100級。它可分為兩類：

（1）水平層流型：水平空氣從一個方向從過濾器吹出，相對壁的回風(fēng)系統(tǒng)返回風(fēng)，灰塵隨風(fēng)向排出到外面，下游污染情況普遍嚴(yán)重。層流罩

優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行后短時間內(nèi)穩(wěn)定。缺點(diǎn)：施工成本高于湍流式，室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。

(2)垂直層流：房間的天花板完全覆蓋有ULPA過濾器，空氣從頂部吹向底部，可以獲得更高的清潔度。在不影響其他工作區(qū)域的情況下，由工藝或工作人員產(chǎn)生的粉塵可以快速地排放到室外。

優(yōu)點(diǎn)：易于管理，在短時間內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行，不易受運(yùn)行狀態(tài)或操作人員的影響。湍流的缺點(diǎn)：施工成本高，空間靈活使用困難，吊頂?shù)跫苷紦?jù)相當(dāng)大的空間，過濾器的維護(hù)和更換比較麻煩。混合型：復(fù)合型結(jié)合湍流和層流，提供部分超潔凈空氣。