1 概 述 　　隨著我國(guó)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的調(diào)整和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，微電子、光電通訊、生物制藥、精細(xì)化工、精密儀器等一批新型生產(chǎn)企業(yè)的建立，其研制、生產(chǎn)所需的潔凈廠房的規(guī)模越來(lái)越大，要求越來(lái)越高，對(duì)施工企業(yè)的技術(shù)、工藝與管理也提出了新的要求。 
　　2 施工工藝流程及施工步驟 
　　2.1 工藝流程 
　　4.2 施工步驟 
　　4.2.1、土建施工 
　　同F(xiàn)RP模板施工步驟。 
　　4.2.2、潔凈廠房裝飾施工 
　　在潔凈室建筑裝飾施工過程中，必須隨時(shí)清掃灰塵，對(duì)隱蔽空間（如吊頂和夾墻內(nèi)部等）還應(yīng)做好清掃記錄。 
　　應(yīng)保護(hù)已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、敲打、踩踏、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。 
　　對(duì)已安裝高效過濾器的房間，不得進(jìn)行有粉塵的作業(yè)。 
　　密封膠嵌固前，應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì)、油污剔除干凈，并保持表面干燥。 
　　潔凈室臨時(shí)設(shè)置的設(shè)備入口不用時(shí)應(yīng)封閉，防止塵土雜物進(jìn)入。 
　　施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明。 
　　防靜電地板施工 
　　首先清理地面。觀察房間的布局，安裝好紅外線水平掃描儀，在四周的墻面上打好半腰水平，然后找出房間的最低點(diǎn)和最高點(diǎn)，計(jì)算地面到板面的平均值（此平均值等于設(shè)計(jì)要求的安裝高度600mm），計(jì)算并調(diào)節(jié)好支架高度。 
　　沿著基準(zhǔn)排，逐排鋪設(shè)大面地板。將腳架擺放于相應(yīng)位置，一般區(qū)腳架為Φ48，加強(qiáng)區(qū)腳架為Φ60。利用鐳射儀調(diào)整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。 
　　腳架調(diào)平后,開始抹膠,膠應(yīng)均勻地涂抹于底盤上。 
　　將抹好膠的腳架置于地面之同時(shí),擺放縱橫向的橫梁.一般區(qū)為25×25×558的門形橫梁.加強(qiáng)區(qū)為25×25×558方形橫梁且中間加一支25×25×776的加強(qiáng)斜梁。 
　　鎖橫梁螺絲。 
　　敲導(dǎo)電墊片。 
　　鋪地板,借助地板本身標(biāo)準(zhǔn)尺寸600×600mm，按施工圖上的不同型號(hào)地板,逐片擺放地板,利用鐳射儀調(diào)整上基座.使地板表面高度與水平標(biāo)高線相平(精平).在大面施作時(shí)，每50mm排需用經(jīng)緯儀檢驗(yàn)X、Y軸之垂直適合位移，隨時(shí)進(jìn)行調(diào)整修正。 
　　收邊處理 
　　膨脹螺絲的施工 
　　當(dāng)大面施作48小時(shí)后，其膠已凝固，便可安排一組人力進(jìn)行膨脹螺絲施工。在鉆孔時(shí)，邊鉆孔邊吸塵，每一支腳架對(duì)角安裝兩顆M6×46的膨脹螺絲。 
　　接地線施工 
　　先剪一段約15cm長(zhǎng)的裸銅線與端子連接。 
　　將端子連接頭以螺絲固定于下基座的接地頭上。 
　　將橫向及縱向之Φ2裸銅線間隔1.2m,以套管連接于端子上固定．便形成一個(gè)導(dǎo)電網(wǎng)，將導(dǎo)電網(wǎng)與建筑物的接地箱連接。 
　　凈化空調(diào)系統(tǒng)施工 
　　風(fēng)管和部件的板材應(yīng)按設(shè)計(jì)要求選用，采用優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板。 
　　風(fēng)管不得有橫向拼接縫，盡量減少縱向拼接縫。矩形風(fēng)管底邊寬度等于或小于800mm時(shí)，其底邊不得有縱向拼接縫。 
　　風(fēng)管板材的拼接采用單咬口；圓形風(fēng)管的閉合縫采用單咬口，彎管的橫向縫采用立咬口；矩形風(fēng)管轉(zhuǎn)角縫采用轉(zhuǎn)角咬口、聯(lián)合角咬口或按扣式咬口。上述咬口縫處都必須涂密封膠或貼密封膠帶。 
　　風(fēng)管內(nèi)表面必須平整光滑，不得在風(fēng)管內(nèi)設(shè)加固框及加固筋。 
　　風(fēng)管應(yīng)按按表要求刷涂。刷涂前必須除去鋼板表面油污和鐵銹，干燥后再刷涂。涂層應(yīng)無(wú)漏涂、起泡、露底現(xiàn)象。 
　　加工鍍鋅鋼板風(fēng)管應(yīng)避免損壞鍍鋅層，損壞處（如咬口、折邊、鉚接處等）應(yīng)刷涂?jī)?yōu)質(zhì)涂料兩遍。 
　　柔性短管應(yīng)選用柔性好、表面光滑、不產(chǎn)塵、不透氣和不產(chǎn)生靜電的材料制作，光面向里。接縫應(yīng)嚴(yán)密不漏風(fēng)，其長(zhǎng)度一般取150-250mm。安裝完畢后不得有開裂或扭曲現(xiàn)象。 
　　金屬風(fēng)管與法蘭連接時(shí)，風(fēng)管翻邊應(yīng)平整并緊貼法蘭，寬度不應(yīng)小于7mm，翻邊處裂縫和孔洞應(yīng)涂密封膠。 
　　法蘭螺釘孔和鉚釘孔間距不應(yīng)大于100mm。矩形法蘭四角應(yīng)設(shè)螺釘孔。螺釘、螺母、墊片和鉚釘應(yīng)鍍鋅。不得選用空心鉚釘。 
　　中效過濾器后的送風(fēng)管法蘭鉚釘縫處應(yīng)涂密封膠，或采取其他密封措施。涂密封膠前應(yīng)清除表面塵土和油污。 
　　系統(tǒng)安裝 
　　法蘭密封墊應(yīng)選用彈性好、不透氣、不產(chǎn)塵的材料，嚴(yán)禁采用乳膠海綿、泡沫塑料、厚紙板、石棉繩、鉛油、麻絲以及油氈紙等含開孔孔隙和易產(chǎn)塵的材料。密封墊厚度根據(jù)材料彈性大小決定，一般為4-6mm。一對(duì)法蘭的密封墊規(guī)格、性能及厚度應(yīng)相同。嚴(yán)禁在密封墊上刷涂涂料。 
　　法蘭密封墊應(yīng)盡量減少接頭。接頭采用階梯形或企口形，并涂密封膠，如圖所示。密封墊應(yīng)擦拭干凈后，涂膠粘牢在法蘭上，不得有隆起或虛脫現(xiàn)象。法蘭均勻壓緊后，密封墊內(nèi)側(cè)應(yīng)與風(fēng)管內(nèi)壁相平。 
　　風(fēng)管上成對(duì)法蘭的擰緊力矩要大小一致，安裝后不應(yīng)有松緊不勻的現(xiàn)象。 
　　經(jīng)清洗干凈包裝密封的風(fēng)管及其部件，安裝前不得拆卸。安裝時(shí)拆開端口封膜后，隨即連接好接頭；如安裝中間停頓，應(yīng)將端口重新封好。 
　　風(fēng)閥、消聲器等部件安裝時(shí)必須清除內(nèi)表面的油污和塵土。 
　　風(fēng)閥的軸和閥體連接處縫隙應(yīng)有密封措施，閥的各部分（包括外框、活動(dòng)件、固定件及連接螺釘、螺帽、墊片等）表面應(yīng)做鍍鉻、鍍鋅或噴塑處理，葉片及密封件表面應(yīng)平整、光滑，葉片開啟角度應(yīng)有明顯標(biāo)志。 
　　高效過濾器安裝施工 
　　高效過濾器安裝前，必須對(duì)潔凈室進(jìn)行全面清掃、擦凈，凈化系統(tǒng)內(nèi)部如有積塵，應(yīng)再次清掃、擦凈，達(dá)到清潔要求。如在技術(shù)夾層或吊頂安裝高效過濾器，則技術(shù)夾層或吊頂內(nèi)也應(yīng)進(jìn)行全面清掃、擦凈。 
　　潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)達(dá)到清潔要求后，凈化空調(diào)系統(tǒng)必須試運(yùn)轉(zhuǎn)。連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)12h以上，再次清掃、擦凈潔凈室后立即安裝高效過濾器。 
　　安裝高效過濾器的框架要平整，每個(gè)高效過濾器的安裝框架平整度允許偏差不大于1mm。 
　　高效過濾器和框架之間的密封采用密封墊和雙環(huán)密封，要求把填補(bǔ)表面，過濾器邊框表面和框架表面及液槽擦拭干凈。 
　　高效過濾器擴(kuò)散板的安裝 
　　高效過濾器安裝完畢后，既進(jìn)行擴(kuò)散板的安裝。 
　　擴(kuò)散板安裝前應(yīng)用清水進(jìn)行徹底清洗，注意清洗后不要用毛巾等易產(chǎn)塵、積塵的棉織物擦干，而應(yīng)自然風(fēng)干；也可清洗后未待風(fēng)干直接安裝。 
　　擴(kuò)散板安裝后要求做到平整、美觀、牢固。 
　　空調(diào)器安裝 
　　安裝空調(diào)器時(shí)應(yīng)對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗、擦拭，除去塵土、雜物和油污。 
　　設(shè)備檢查門的門框應(yīng)該平整，密封墊應(yīng)符合設(shè)計(jì)對(duì)法蘭密封墊的要求。 
　　凈化空調(diào)系統(tǒng)的空調(diào)器接縫應(yīng)做密封處理，安裝后應(yīng)進(jìn)行密封檢查，其方法按附錄四“空調(diào)器漏風(fēng)率檢測(cè)法”進(jìn)行檢漏、堵漏，測(cè)量其漏風(fēng)率。測(cè)量漏風(fēng)率時(shí)，空調(diào)器內(nèi)靜壓保持1000Pa。潔凈度等于或高于1000級(jí)的系統(tǒng)，空調(diào)器漏風(fēng)率不應(yīng)大于１％；潔凈度低于1000級(jí)的系統(tǒng)，空調(diào)器漏風(fēng)率不應(yīng)大于2%。 
　　過濾器前后必須裝壓差計(jì)，壓差測(cè)定管應(yīng)暢通、嚴(yán)密、無(wú)變形和裂縫。 
　　表冷器冷凝水排出管上應(yīng)設(shè)水封裝置和閥門，在無(wú)冷凝水排出季節(jié)應(yīng)關(guān)閉閥門，保證空調(diào)器密閉不漏風(fēng)。 
　　3 質(zhì)量控制措施 
　　3. 1、潔凈度 
　　一百級(jí)：≥0.5μm的塵埃顆粒數(shù)≤3.5顆/L； 
　　≥5μm的塵埃顆粒數(shù)≤0.0顆/L； 
　　3.1.2、室內(nèi)噪聲 
　　≤65dB（A）單向流，采用ND－12聲級(jí)器檢測(cè)； 
　　≤60dB（A）非單向流，采用ND－12聲級(jí)器檢測(cè)； 
　　3.1.3、室內(nèi)壓差 
　　≥5－10MPa，采用YYT－200B斜管壓差計(jì)檢測(cè)； 
　　3.1.4、室內(nèi)溫度 
　　按設(shè)計(jì)要求±2℃。 
　　3.1.5、室內(nèi)濕度 
　　按設(shè)計(jì)要求±5％。 
　　3.1.2、測(cè)試方法 
　　3.1.2.1、高效過濾器檢漏－粒子計(jì)數(shù)器法。 
　　A、被檢測(cè)高效過濾器必須已測(cè)過風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80％－120％之間運(yùn)行； 
　　B、在被檢測(cè)高效過濾器上風(fēng)測(cè)定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5μm微粒為準(zhǔn)其濃度必須大于或等于3.5×104粒/L。 
　　C、檢漏時(shí)采樣口放在距離被檢測(cè)過濾器表面20－30mm處，以5－20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢測(cè)過濾器整個(gè)表面，封頭膠和安裝框架進(jìn)行掃描。 
　　3.1.2.2、靜壓差測(cè)定 
　　A、靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行，并應(yīng)從平面上最里面的房間依次向外測(cè)定。 
　　B、對(duì)于潔凈度高于100級(jí)的單向流（層流）潔凈室，還應(yīng)測(cè)定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。 
　　3.1.3、室內(nèi)潔凈度的測(cè)定 
　　測(cè)點(diǎn)的分布多于5點(diǎn)時(shí)可分層布置，但每層不少于5點(diǎn)。 
　　5點(diǎn)或5點(diǎn)以下時(shí)，可布置在離地0.8m高平面的對(duì)角線上或該平面上的兩個(gè)過濾器之間的地點(diǎn)。 
　　3. 4、室內(nèi)噪聲的測(cè)定 
　　3. 4.1、測(cè)噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。一般只測(cè)4聲級(jí)的數(shù)值。 
　　3. 4.2、測(cè)點(diǎn)位置：面積＜15m2，室中心1點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)高度距地面1.1m。 
　　3. 5、照明的檢測(cè) 
　　3. 5.1、室內(nèi)照度可用便攜式照度計(jì)測(cè)定。 
　　3. 5.2、室內(nèi)照度必須室溫已趨向穩(wěn)定、光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行。 
　　3. 5.3、潔凈室照度只測(cè)定除特殊局部照明之外的一般照明。 
　　3. 5.4、測(cè)點(diǎn)平面距地面0.8m，按1-2m間距布置，測(cè)點(diǎn)距離墻面1m（小面積房間為0.5m）。 
　　根據(jù)以上檢測(cè)數(shù)據(jù)，出具相關(guān)檢測(cè)報(bào)告，作為竣工資料。 
　　3. 5.5、應(yīng)根據(jù)潔凈度級(jí)別的高低按下表的規(guī)定進(jìn)行。 
　　4 施工環(huán)境保護(hù)要求 
　　4.1、成立施工現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境衛(wèi)生管理機(jī)構(gòu)，在工程施工中嚴(yán)格遵守國(guó)家和地方政府下發(fā)的有關(guān)環(huán)境保護(hù)的法律、法規(guī)和規(guī)章制度。加強(qiáng)對(duì)工程材料、設(shè)備、廢水、生產(chǎn)生活水平垃圾、棄渣等的控制和治理，遵守有防火和廢棄物處理的規(guī)章制度。 
　　4.2、規(guī)范施工現(xiàn)場(chǎng)的場(chǎng)容，保持作業(yè)環(huán)境的整潔衛(wèi)生。 
　　4.3、減少施工對(duì)周圍環(huán)境的影響，保證職工的安全和身體健康。 
　　4.4、機(jī)械停放或行走不得侵占場(chǎng)內(nèi)道路，保證施工道路暢通，排水系統(tǒng)處于良好狀態(tài)，保持場(chǎng)容場(chǎng)貌整潔隨時(shí)清理建筑垃圾。 
　　5 結(jié) 論 
　　(1) 本文結(jié)合工程實(shí)踐，研究了百級(jí)防護(hù)潔凈室施工工法及施工質(zhì)量保證措施，為這類工程項(xiàng)目積累了一整套施工技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。 
　　(2) 先后將百級(jí)防護(hù)潔凈室施工工法應(yīng)用于四項(xiàng)電子芯片廠房尤其是成都成芯半導(dǎo)體制造有限公司八英寸芯片廠房無(wú)塵室模板的施工中，確保了工程質(zhì)量和進(jìn)度，保證了質(zhì)量、安全，而且得到了建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位、監(jiān)理單位以及同行業(yè)專家的好評(píng)。 
　　(3) 百級(jí)防護(hù)潔凈室施工工法體現(xiàn)了技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、有效縮短工期、適應(yīng)環(huán)保要求，取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，具有良好的市場(chǎng)發(fā)展?jié)摿Α?nbsp;