【摘 要】通過對(duì)半導(dǎo)體潔凈空調(diào)系統(tǒng)實(shí)際運(yùn)行工況的研究，基于廠務(wù)技術(shù)大系統(tǒng)概念，突破傳統(tǒng)思維，提出了空調(diào)系統(tǒng)輸入源替代的優(yōu)化運(yùn)行模式，在保證系統(tǒng)穩(wěn)定的同時(shí)，大幅提高運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性。 

　1系統(tǒng)介紹及運(yùn)用 

　　1.1潔凈空調(diào)系統(tǒng)原理介紹 
　　根據(jù)生產(chǎn)和科研的要求對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境的潔凈度、溫度、相對(duì)濕度以及壓力、噪聲、振動(dòng)、靜電等參數(shù)都進(jìn)行控制的房間叫潔凈室或潔凈廠房。潔凈室的四大技術(shù)要素就是：粗效，中效和高效三級(jí)過濾，足夠的凈化送風(fēng)量，室內(nèi)正壓的建立和維持，以及終端高效或超高效過濾器的設(shè)置。潔凈空調(diào)系統(tǒng)就是保證潔凈室正常運(yùn)行的系統(tǒng)，現(xiàn)在一般都把空氣調(diào)節(jié)輸入源系統(tǒng)（冷凍水站，熱水站，蒸汽等），空氣輸送系統(tǒng)（新風(fēng)系統(tǒng)，循環(huán)系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)）作為潔凈空調(diào)系統(tǒng)的組成部分，這也是廠務(wù)大系統(tǒng)管理的必然趨勢(shì)。現(xiàn)在常見的潔凈空調(diào)系統(tǒng)原理圖如（圖1），是以MAU（新風(fēng)機(jī)組）+DC（干表冷）+FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）的系統(tǒng)方案，房間的濕度由新風(fēng)機(jī)組保證，溫度由干表冷保證，潔凈度依賴于FFU，這種方式對(duì)于今后工藝的擴(kuò)展性（工藝間指標(biāo)升級(jí)）比較靈活，運(yùn)行能耗與以往傳統(tǒng)模式比要低的多，這也是即使初始投資較大也選擇其的主要原因。 
　　1.2潔凈空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行工況 
　　輸入源有冷凍水（降溫除濕），熱水（加熱），蒸汽（加濕），冷凍水由冷凍站提供，熱水由水與蒸汽換熱的熱交換站提供，蒸汽由市網(wǎng)提供，潔凈空調(diào)在全年實(shí)際運(yùn)行中對(duì)輸入源的需求是不同的，依據(jù)新風(fēng)露點(diǎn)溫度的控制來確定是除濕或加濕從而保證房間濕度，依據(jù)房間實(shí)時(shí)溫度來調(diào)整干表冷冷凍水的流量從而保證溫度。由于房間溫濕度的具體要求，一般其空氣露點(diǎn)溫度在13度左右，夏季必須要用冷凍水除濕（要降到房間空氣露點(diǎn)溫度），為了保證合理的送風(fēng)溫度還需熱水加熱但不需蒸汽加濕，冬季需要冷凍水降溫不需除濕，熱水加熱，蒸汽加濕，過渡季節(jié)工況相對(duì)復(fù)雜，但我們總能找到一個(gè)連續(xù)的時(shí)間段有除濕工況時(shí)，蒸汽就可以不用，熱水的需求熱量也相對(duì)較小，也總能找到一個(gè)連續(xù)的時(shí)間段有蒸汽加濕工況時(shí)，熱水需求量也較大，但此時(shí)冷凍水只有降溫的需求。這兩個(gè)時(shí)間段廣義上說是夏季和冬季，從運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)的積累看應(yīng)是4～10月，12～2月。冷凍站是廠務(wù)的耗電大戶，占廠務(wù)電耗的60%以上，因此節(jié)電和節(jié)蒸汽一般情況下常規(guī)做法是合理控制輸入源的使用量，改善自控，人工干預(yù)能收到一些效果，但空間不大。在一定連續(xù)時(shí)間段內(nèi)找到其它熱源替代熱水，其它冷源替代冷凍水是否給我們打開潔凈空調(diào)節(jié)能的另一個(gè)思路。 
　　1.3　優(yōu)化方案 
　　1.3.1替代輸入源替代的選擇 
　　我們運(yùn)行著的冷凍機(jī)其冷卻水進(jìn)水溫度控制在32℃，回水溫度在37℃的標(biāo)準(zhǔn)工況，其循環(huán)量也遠(yuǎn)大于熱水需求的循環(huán)流量，我們就完全可以進(jìn)行冷凍機(jī)運(yùn)行所產(chǎn)生的熱源（冷卻水回水）進(jìn)行回用，作為潔凈空調(diào)系統(tǒng)所需熱水的替代輸入源。 
　　另外，我們冷凍系統(tǒng)的冷卻水出水在當(dāng)時(shí)大氣溫度下完全可以輸送低于12℃的水，其所能供給的循環(huán)流量也是可以遠(yuǎn)大于實(shí)際需求流量，這就完全使我們用冷卻水送水替代冷凍水從理想走向現(xiàn)實(shí)。 
　　1.3.2方案原理的簡介 
　　冷卻水代用熱水期間工況：根據(jù)空調(diào)負(fù)荷的實(shí)際需求由熱水泵抽取冷凍機(jī)機(jī)冷卻水的部分回水經(jīng)水泵加壓后經(jīng)自清洗過濾器（避免末端盤管堵塞）送至新風(fēng)機(jī)組，回水直接回冷凍站冷卻塔保持循環(huán)和水路平衡，此時(shí)熱交換站蒸汽停運(yùn)。 
　　冷卻水代用冷凍水期間工況：根據(jù)冷水負(fù)荷的實(shí)際需求由冷凍水泵抽取冷凍機(jī)機(jī)冷卻塔的出水經(jīng)水泵加壓后經(jīng)自清洗過濾器送至干盤管冷凍水系統(tǒng)和工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，回水直接回冷凍站冷卻塔保持循環(huán)和水路平衡，此時(shí)冷凍站冷凍機(jī)停運(yùn)。 
　　冷卻水代用熱水的目標(biāo)是在無加濕工況下蒸汽停供（預(yù)計(jì)6個(gè)月），蒸汽如無其它必須需求，可直接關(guān)閉入口總閥，實(shí)現(xiàn)蒸汽零投運(yùn)，連起步流量也省了。 
　　冷卻水代用冷凍水目標(biāo)將使冬季冷凍機(jī)組零投運(yùn)（預(yù)計(jì)100天），以代用之前冬季運(yùn)行1臺(tái)250萬大卡（2900KW）冷凍機(jī)為例，　冷凍系統(tǒng)每天需耗電17000度電，代用后僅需5000度，節(jié)電12000度，以0.7元/度計(jì)，代用期間省84萬。節(jié)能效益相當(dāng)可觀， 
　　2　結(jié)語 
　　上述廠務(wù)技術(shù)措施在實(shí)施以后，一定要通過數(shù)據(jù)積累及大系統(tǒng)運(yùn)行的不斷優(yōu)化，在穩(wěn)定供應(yīng)的前提下朝著無縫隙對(duì)接不斷邁進(jìn)，并用智慧與行動(dòng)去拉長單項(xiàng)代用的時(shí)間，這是潔凈空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能今后長期要做的工作。